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半導體制造涉及許多濕工藝,例如在整個生產(chǎn)周期中多次使用超純水進行清洗。蝕刻等其他工藝則需要腐蝕性化學品。無論是哪種工藝,所需的液體都必須儲存在儲液罐中,并對其液位進行監(jiān)控。
然而,測量腐蝕性化學品的液位對傳感器來說是一項特殊的挑戰(zhàn)。尤其是在儲罐壁不允許從外部進行檢測的情況下。在這種情況下,我們帶有 PTFE 涂層外殼的電容式傳感器就是正確的選擇。這些傳感器可以檢測直接檢測工藝液體中高導電性介質(zhì)(如酸和堿)的含量。.這意味著蝕刻、抗蝕劑的應(yīng)用、光刻或化學機械拋光后的顯影以及晶片的清潔都可以按計劃進行。
我們的液位傳感器外殼材料由不銹鋼或聚四氟乙烯(PTFE)或聚醚醚酮(PEEK)等耐化學塑料制成,具有惰性和耐熱性。惰性且非常耐熱。耐熱。由于我們的特殊傳感器外殼可以承受侵蝕性酸液,因此即使是對侵蝕性很強的介質(zhì)進行液位監(jiān)測,也可以通過與介質(zhì)接觸來解決。
因此,我們的潤濕傳感器非常適合半導體工業(yè)自動化.

特殊功能
采用聚四氟乙烯(PTFE)外殼,具有很強的耐化學性
適用于酸、堿、超純水和泥漿
智能液位技術(shù)實現(xiàn)泡沫和積聚補償
精確可靠的檢測

復制成功
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